以下是关于“扩散炉”概念股的上市公司及其近年来ROE（Return on Equity，即投资回报率）数据的详细介绍。

1. 北方华创：作为一家上市公司，北方华创在过去三年中的ROE平均值为9.49%，其最低值为2019年的8.01%，最高值为2021年的11.94%。该公司利用在集成电路设备关键技术上的延伸应用，成功开发了泛半导体领域的刻蚀机、PVD、CVD、扩散炉、退火炉、清洗机等产品。这些产品广泛应用于光伏、半导体照明、微机电系统、功率器件、化合物半导体、平板显示等领域，使得该公司在行业内成为了主要设备供应商之一。其中，该公司的一些产品在细分市场的占有率甚至名列前茅，起到了引领行业技术发展的作用。

2. 捷佳伟创：捷佳伟创在最近三年中的ROE平均值为16.32%，其最低值为2021年的14.3%，最高值为2020年的18.66%。作为光伏电池设备领域的龙头，捷佳伟创的产品线涵盖了主流单晶PERC电池制造过程中的PECVD、扩散炉、清洗制绒、自动化、丝网印刷等生产设备。目前，该公司已经基本完成了异质结电池清洗制绒、RPD镀膜、丝网印刷等设备的研发，并已经进入了工艺验证阶段。部分设备已经开始销售，而异质结电池整线生产设备的国产化进程也在积极推进中。

需要注意的是，本文中的所有信息并不构成投资建议。股市投资具有风险，投资者在做出投资决策时，需要谨慎考虑。